装置

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ナノ領域の分解能を持つ装置や量産部品の検査装置など、
様々なご要望にお応えいたします。

装置

池上精機では、自動計測・超高精度・信号処理・気密・高真空などの、高い技術を必要とする装置を製作しております。

  • ナノ領域の分解能を持つ硬度計測装置
  • 分析の前処理装置
  • 半導体のイオン洗浄チャンバ
  • 自動車の量産部品の検査装置

など、お客様のご要望にお応えしております。

試料から数十~数百ナノといった薄膜切片を切り出す際に生じる微小な応力を測定し、波形として記録することができる装置です。
本来荷重センサは応力に対して変位することで信号を発生しますが、変位が生じると前述の様な単位の切削を安定して行うことができないというジレンマがありました。
超薄膜切片作成に必要な剛性と、微小荷重の測定を両立させたセンサを独自に開発し、これを実現しました。

自動検査装置

月産10万個以上の自動車部品の製造工程において、 μm単位の寸法測定と残留物の有無をレーザーによる非接触測定機と画像処理システムでチェックする自動検査機を製作いたしました。
全自動での全数検査を実現し、品質の保証と経費の削減に貢献しています。

回転式ウルトラミクロトーム

100nmの試料切片作成機構を回転式で実現いたしました。
その制御には、単に電気的な制御分解能だけではなく、切削応力の変化にもびくともしない機械的な剛性を持たせた位置決め制御技術が必要でした。
そのような難問にも正面から向き合い、お客様が求める装置を実現することができました。

紫外線洗浄機

真空中にて、エキシマランプによる紫外線照射でウエハの洗浄を行うための装置です。
処理対象物を収納するチャンバは、10-9といった高真空の空間を作り出しています。

トリミング装置

包埋された試料片の先端を、切片切り出しに都合の良い先端形状にトリミングする装置です。
従来職人技による処理に頼っていた工程が、この装置によって正確・簡単な作業にすることが出来ました。

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