研磨レシピの作製と、EBSD観察

EBSDとは
後方散乱電子回折（Electron BackScatter Diffraction:EBSD）のこと。
SEMに組み合わせ、電子線を操作しながら、擬菊池パターンを解析することで、
ミクロな結晶方位や結晶系を測定する。

EBSD観察が出来る仕上げレシピ。

今回紹介するレシピは参考用としてください。
EBSD観察像をもう少しきれいに出す必要があります。
バフ工程の時間を長くすることが1つのポイントになります。

研磨作製中に酸化しやすいので、なるべく放置しないで素早く仕上げて、観察すること。

低負荷・低荷重研磨、金属、鉄、EBSD