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鉄材の研磨作製とEBSD観察

目的

研磨レシピの作製と、EBSD観察


EBSDとは
後方散乱電子回折(Electron BackScatter Diffraction:EBSD)のこと。
SEMに組み合わせ、電子線を操作しながら、擬菊池パターンを解析することで、
ミクロな結晶方位や結晶系を測定する。

課題

EBSD観察が出来る仕上げレシピ。

解決方法

今回紹介するレシピは参考用としてください。
EBSD観察像をもう少しきれいに出す必要があります。
バフ工程の時間を長くすることが1つのポイントになります。

レシピの紹介

注意点

研磨作製中に酸化しやすいので、なるべく放置しないで素早く仕上げて、観察すること。

検索キーワード

低負荷・低荷重研磨、金属、鉄、EBSD

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