傾斜研磨

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傾斜研磨

2軸傾斜アジャスタで微小な角度調整を行い、チップコンデンサなどの極小部品の斜め研磨が簡単にできます。
また、メッキや薄膜などの断面などに対し、幅広い観察が可能となりました

→デザインファイルに準拠

例:積層セラミックコンデンサの断面構造

斜め研磨の原理

斜め研磨の原理

2軸傾斜アジャスタの装着イメージ

2軸傾斜アジャスタの装着イメージ

2軸傾斜アジャスタの事例

2軸傾斜アジャスタ

2軸傾斜アジャスタは高精度・微細な傾きの調整ができます。
斜め研磨を行うことで、厚み方向が拡大され、観察しやすくなります。

斜め研磨の実例「積層セラミックコンデンサ」

斜め研磨の実例「積層セラミックコンデンサ」

高拡大率の斜め研磨を手軽に実現することができます
斜め研磨法による拡大観察試料作成

例として一般的な電子回路に使われている、1608タイプの積層セラミックコンデンサの断面構造を斜め研磨で観察。
セラミック素材の本体の中に、アルミ電極箔が積層されています。

試料台への搭載/試料ホルダへ取り付け

試料台にマウンティングワックス等で固定します。
傾斜時に試料台が研磨盤に当たらない様に端に付けておきます。

試料ホルダに試料台を取り付けます。この時にホルダの方向と試料の向きを合わせておきます。

2軸傾斜アジャスタ角度設定

試料ホルダを2軸傾斜アジャスタにセットし、希望する拡大率に合わせて角度を設定します。
2軸傾斜アジャスタの調整機構は5°(4mm)に設定しました。この場合の拡大率はcosec5°=11.474となります。

研磨

研磨対象物が小さく脆いため通常だと包埋が必要なケースですが、IS-POLISHERではウェイトキャンセラを使用することで試料ホルダや2軸傾斜アジャスタの自重をも軽減することができます。
そのため包埋しなくてもデリケートな研磨が可能です。

試料の完成
通常の断面研磨での観察像
通常の断面研磨での観察像

観察倍率:x500観察倍率:x50

斜め研磨での観察像

観察倍率:x50

かなりの高倍率でないと積層構造の様子が判らない 厚み方向だけが拡大されるので、電極の感覚のばらつきや、曲がり等が視覚的にも強調されて観察できます。
試料研磨機「IS POLISHER」専用サイト
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