前処理(IM・CP)

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イオンミリング・クロスセクションポリッシャの前処理

イオンミリング・クロスセクションポリッシャの前処理

アルゴンイオンビーム装置による研磨で、装置にかける前の試料の状態が、仕上り具合に大きく影響します。
IS-POLISHERでは、各メーカーの装置専用のホルダーを用意し、従来難しかったフラット面や直角面の研磨を、短時間で精度良く綺麗に、そして簡単に前処理を行うことができます。
イオンミリングの前処理、クロスセクションポリッシャ(CP)の前処理(日本電子)・フラットミリングの前処理に最適です。
※E-3500,IM4000(日立ハイテク)、クロスセッションポリッシャ(日本電子)の試料台に合わせたホルダーをご用意しています。

IS-POLISHERを使ったアルゴンイオンビーム用試料の前処理

CP・IM用の試料載せ台が取り付け可能な専用ホルダで、平面と直角を精度良く出すことができます。

アルゴンイオンビーム用の試料作成
EBSDの試料作成

マウンティングワックスなどを用いて、試料を試料載せ台に固定します。

ブロックへ取り付け

試料載せ台をクランプブロックに取り付け、ホルダベースへ端面側方向にセットします。
(必要に応じて補助プレートを取り付けます。)

端面側の研磨

ホルダベースに端面研磨側をセット

端面側研磨

ブロックの組み替え

補助プレートを外し、クランプブロックを試料の上面側を研磨する向きに方向転換して取り付け直します。

平面研磨

ホルダベースに平面研磨側をセット

平面側研磨

試料の完成

アルゴンイオンビーム処理へ

  • イオンミリング
  • クロスセクションポリッシャ

所要時間の例:SUS304、5mm角×t2の試料で約5~10分

試料研磨機「IS POLISHER」専用サイト
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